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MODEL 681

Brand - Gatan

[1] Ion source: Two Penning ion guns with miniature rare earth magnets [2] Ion energy: 1.0keV to 10.0keV [3] Beam Diameter: About 1mm FWHM [4] Ion current density: 10mA/cm2 Peak [5] Gas throughput Argon at 0.1cc/minute/gun [6] Overall Size 560mmW x 480mmD x 430mmH (22"W x 19"D x 17"H) [7] Coating rate Approximately 0.5Å/sec for Carbon and 1.5Å/sec for Chromium at 10.0keV [8] Coating Area Uniform over a 1 inch diameter [9] Sample Holder Accepts 1.25" Metallographic mounts and most SEM stubs [10] Sample Rotation Variable speed 10 – 60rpm

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